☞ 溅射离子泵又称潘宁泵，它是靠潘宁放电坚持抽气的一种无油清洗超高真空泵。是现在抽惰性气体较好的真空取得设备。

▲ 溅射离子泵的构造

☞ 溅射离子泵主要由阳极、阴极、磁场和电源四大有些构成。依据阴极、阳极和电位的不一样，能够有好几种不一样构造，这儿仅介绍最简略的二极型溅射离子泵。

☞ 如图4所示，阳极由多个不锈钢圆筒(或四方格、六方格)构成，放于两块由钛板构成的阴极之间，磁场方向与阴极板笔直，当阳极加上恰当高压(对阴极为正电位)时，在阳极小室内发作放电，这种放电在压强低于1Pa时发作，放电可坚持到很低的压强。

▲ 溅射离子泵的抽气机理

☞ 如图5所示，在每个阳极筒内发作的物理进程，可分化成六个进程打开阐明。

☞ 图中A表明在低压下，当阴极和阳极间加上高压时，致使场致发射。

☞ 图中B表明在电、磁场效果下电子作螺旋运动。

☞ 图中C表明电子与气体分子磕碰发作正离子和二次电子，致使雪崩效应。

☞ 图中D表明正离子炮击钛阴极，溅散出钛原子落在阳极筒上，构成新鲜钛膜，也有的落在阴板外围区(β区)。

☞ 图中E表明活性气体与新鲜钛膜反响构成化合物，化学吸附在阳极筒内壁。隋性气体被电离，离子在电场效果下炮击阴极进程中被排出。

☞ 其扫除方法为：(1)离子 直接打入阴极外表内或β区(如图中a)；斜射的离子切入阴极外表，离子和钛一同被掀掉，埋葬在β区(图中b)；(2)离子没打入阴极内，从阴极得一电子恢 复为中性原子或分子，反射到阳极内外表被埋掉(图中c)，这叫“荷能中性粒子反射”。

☞ 图中F表明关于氢，因为其质量小，氢离子炮击钛板的溅射产额甚低，氢离子 H2+ 或 H+ 打到钛板上与电子复合成为H原子，然后分散入钛的晶格内，构成TiH固溶体而被排出。

☞ 常温下这种固溶体中H2的浓度为0.05％，当温度高于250oC以上时，便又开端分化放出氢钛很多吸氢后。

☞ 因为放热反响钛板温度上升，到达250oC今后，除从头开释氢以外并致使钛板晶格胀大形成龟裂。一般需加大钛板的散热才能来改进溅射离子泵对氢的扫除才能。

☞ 要进步对氢的抽速，需坚持钛板外表清洗，选用晶格常数较大的β-Ti或钛合金作为阴极板，或引进与氢可比较的氩含量因氩的溅散产额高，可进步对氢的抽速。

☞ 溅射离子泵的特性\极限压强：可达10-10Pa;抽速：在高真空时，二极型溅射离子泵每一阳极格子的抽速经历公式为

☞ 式中h 为阳极筒高度(cm)；Ua为阳极电压(V)；H 为磁场强度(A／m)；d 为阳极简直径(cm)；e = 2.71828。

☞ 多个阳极筒构成一台溅射离子泵今后，其总抽速不思考泵口流导影响)为：So = m·nfs    (L/s)    (6)

式中m 优为泵高方向并联单元组数；n 为泵深方向每一纵行单元数；f 为抽速有用系数，与单元摆放有关；s为每一单元的抽速,在抽除惰性气体时，二极泵会呈现氩不稳定性,对有机蒸气污染灵敏，接连抽30min油蒸气就会使泵起动艰难。