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高温老化试验机
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工序才干指数评价可靠性试验运用实况
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◙ 前而介绍了Cre在试验中运用的一些进程,选择对集成电路进行试验来说明怎样实施评价;首要因集成电路的构成包含很多的工序,如键合、密封等。
◙ 因为键合是将内部的芯片与外界的引线连接起来的首要进程,键合的胜败直接影响到元器件的功用。而键合工序中的首要技能参数便是引线拉力,所以选择键合工序中的引线拉力作为要害参数。
◙ 先测102个键合拉力数值,然后进行热冲击试验。试验条件:0.100℃,高低温各停留4min,其温度改换时间小于lOs,共进行15次循环,然后再测102个键合拉力数值,终究分别计算各自的C。、值,进行比照,数据见表1和表2:
 正航设备参数图
          
◙ 从图2和图3可以看出该键合拉力在试验前后的数据分布均恪守正态分布。4试验效果分析从试验前后的数据的改动可以看出,键合拉力值改动比照明显,这是因为该批集成电路的键合丝为A1丝。
◙ 通过高、低温更换进行的热冲击试验,在高温时,A丝遇热而发生胀大,遇冷而发生缩短,又因为冷热之间的改换时间比照短,A1丝在热胀大时又俄然遇冷缩短,这么AI丝内部就会发生一些应力,使它发生形变,对A!丝本身具有的功用遭到一定程度的影响。
◙ 尤其是当正本键合AI丝中存在内在缺陷,再通过试验后,缺陷因发生的应力而更加明显,使试验前后测量的拉力值有些改动。
◙ 试验前后的Cr、值0两者相差很大,这说明热冲击试验对键合的这道工序来说,试验的影响是可以满足实际运用恳求的。
◙ 也便是说虽然试验前后数据变激光器相比较,可以处理材料的晶格位错、热胀系数不匹配等疑问,因此具有更高的可靠性和运用寿命,使得半导体激光器有了更广泛的材料选择规划和运用范畴。
◙ 化比照大,但是从工序才干上两者相差是在正常规划内的(试验前后的规范值不相同,是因为该批样品是刚从技能线上封装好的,没有通过任何试验,规范值比试验后的大,所以试验前C:、值比试验后的小,假设经受过试验,再进行评价,则规范值相同,C:、值应当试验前的大))o该批集成电路可以继续进行下而的可靠性试验。
◙ 在可靠性试验中进行C:、评价,是可以通过一些实施进程来完结的,它可以使我们更加了解产品的内在工序才干在试验前后的改动,全方而了解可靠性试验对电子元器件的影响,为元器件的可靠性。
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